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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

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标签: 基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS  带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF  的HFSS  软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS  软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz  的MEMS  带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用。

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