Cluster formation at Au implantation in Si dependent on dose and target temperature

Lindner, J.; Belz, J.; Kaat, E. te

Filters

Results 1 - 1 of 1

Results 1 - 1 of 1. Search took: 0.028 seconds

META

Cluster formation at Au implantation in Si dependent on dose and target temperature

Lindner, J.; Belz, J.; Kaat, E. te1984

Citation
Export

AbstractAbstract

No abstract available

Original Title

Clusterbildung bei der Implantation von Au in Si in Abhaengigkeit von Dosis und Targettemperatur

Primary Subject

MATERIALS SCIENCE (B2260)

Source

48. physicists meeting '84 jointly with the spring meeting of the Arbeitskreis Festkoerperphysik of the DPG on thin layers, semiconductor physics, magnetism, metal physics, surface physics, polymer physics, thermodynamics, low temperatures, vacuum technology, didactics of the physical sciences, molecular physics, power technology, materials research, sensor physics; Muenster (Germany, F.R.); 12-17 Mar 1984; Published in summary form only.; CODEN: VDPEA.

Record Type

Journal Article

Literature Type

Conference

Journal

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft; ISSN 0420-0195;

; v. 19(1); p. 317

Country of publication

Germany

Descriptors (DEI)

GOLD IONS, ION IMPLANTATION, ION PAIRS, MEV RANGE 01-10, MONOCRYSTALS, SILICON, TRANSMISSION ELECTRON MICROSCO

Descriptors (DEC)

ATOMIC IONS, CHARGED PARTICLES, CRYSTALS, ELECTRON MICROSCOPY, ELEMENTS, ENERGY RANGE, IONS, MEV RANGE, MICROSCOPY, SEMIMETALS

LanguageLanguage

German

Reference NumberReference Number

15038480

INIS VolumeINIS Volume

INIS IssueINIS Issue

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž