Effect of indentation load on the microhardness of titanium diboride films prepared by magnetron sputtering

Andrievskij, R.A.; Kalinnikov, G.V.; Potafeev, A.F.; Amanulla, S.A.; Bruks, E.Dzh.

Filters

Results 1 - 1 of 1

Results 1 - 1 of 1. Search took: 0.02 seconds

META

Effect of indentation load on the microhardness of titanium diboride films prepared by magnetron sputtering

Andrievskij, R.A.; Kalinnikov, G.V.; Potafeev, A.F.; Amanulla, S.A.; Bruks, E.Dzh.1995

Citation
Export

AbstractAbstract

[en] Hardness of TiB₂ films is studied within load wide range including low-loads (nanoindentation). Ratio of final depth of indenter penetration (following load relieving) to penetration total depth is shown to constitute for films 0.67 and 0.63 respectively. 9 refs., 3 figs

Original Title

Vliyanie nagruzki pri indentirovanii na velichinu mikrotverdosti plenok diborida titana, poluchennykh magnetronnym raspyleniem

Primary Subject

MATERIALS SCIENCE (B2330)

Record Type

Journal Article

Journal

Neorganicheskie Materialy; ISSN 0002-337X;

; CODEN NEOMB8; v. 31(12); p. 1600-1601

Country of publication

Russian Federation

Descriptors (DEI)

FILMS, MAGNETRONS, MICROHARDNESS, PENETRATION DEPTH, SPUTTERING, TITANIUM BORIDES

Descriptors (DEC)

BORIDES, BORON COMPOUNDS, ELECTRON TUBES, ELECTRONIC EQUIPMENT, EQUIPMENT, HARDNESS, MECHANICAL PROPERTIES, MICROWAVE EQUIPMENT, MICROWAVE TUBES, TITANIUM COMPOUNDS, TRANSITION ELEMENT COMPOUNDS

LanguageLanguage

Russian

Reference NumberReference Number

27055665

INIS VolumeINIS Volume

INIS IssueINIS Issue

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž