Wyładowanie jarzeniowe środowiskiem technologicznym w procesach:  azotowania, nawęglania, utleniania, PVD, CVD.
Rys. Świecenie w obszarze części katodowej wyładowania jarzeniowego 50 Pa.

Wyładowanie jarzeniowe środowiskiem technologicznym w procesach: azotowania, nawęglania, utleniania, PVD, CVD.


 


Marek Betiuk

Łukasiewicz Research Network - Warsaw Institute of Technology. (Łukasiewicz-WIT). Low-pressure plasma technologies - PAPVD, PACVD, plasma jet sources, glow discharge nitriding.

2y

Eklektyczne wyładowanie jarzeniowe w próżni wiąże się z szeregiem zjawisk świetlnych jakie są widoczne w trzech przeczeniach: katodowej, międzyelektrodowej, anodowej. Czynnikiem sprawczym jest pole elektryczne miedzyelektrodowe. Świecąca plazma w przestrzeni katody, przy ciśnieniach mniejszych od 100 Pa, posiada zauważalną strefę ciemni Astona przechodzącą w poświata katodowa (barwa różnowa), oganiaczoną w dalszym obszarze ciemnią Crookesa. W ciemni Crookesa elektrony wtórne emitowane z katody i istniejace pierwotne są przyspieszane w polu elektycznym do stanu energetycznego wystarczjącego do wzbudzania i jonizowania atomów gazu. Widoczną granicą wzburzeń do wyższych stanów energetycznych atomów i molekół gazowych jest występuje poświaty ujemnej. Utrata energii potencjalnej składników plazmy w kierunku anodowym uwidacznia się w obrazie ciemni Faradaya.

To view or add a comment, sign in

More articles by Marek Betiuk

Explore topics